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SRD系列
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产品描述
参数
1.产品描述
SRD系列产品是具有高精度解析、高精度对位的光伏直接成像研发平台,适用于高效太阳能电池图形化研发应用。
该系统采用DMD技术,通过高精度的资料解析可实现优于6μm精细线路,对干膜、油墨以及光刻胶均有良好的工艺适应性,是一款经济、灵活的研发设备平台。
2.产品特点
• 直写光刻无需掩膜版,非接触曝光工艺;
• 405nm 半导体激光器,低曝光剂量无基底激光损伤;
• 高解析精度,优于6微米解析精度;
• 对位精度:抓边对位±0.05mm、Mark高精对位±10μm;
• 基板尺寸最大支持300mm*300mm,适用于166~210整片以及半片电池;
• 自动对准功能,兼容抓点和抓边对位;
• 多种数据输入格式(GDSⅡ/DXF/Gerber等)
• 基于Windows系统,用户界面方便操作
3.技术规格
设备型号 | 光伏SRD | ||
06型 | 08型 | ||
基板尺寸 | 166 mm~210mm整片或半片电池 | ||
基板厚度 | 80~150μm | ||
解析能力 | 6μm | 8μm | |
线宽公差 | ±10% | ±10% | |
景深 | ±30μm | ±50μm | |
对位精度 | 边缘对位±50μm Mark对位±8μm |
边缘对位±50μm Mark对位±10μm |
|
光源类型 | LD 405±10nm | ||
拼接误差 | ±1μm | ||
能量均匀性 | ≥95% | ||
光源寿命 | 10000H |
* 显影后,最小线宽/线距与景深取决于感光材料特性及制程
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